说明:最全专利文库
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS 29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 GB/T6616—-2009 代替GB/T6616--1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测试方法 非接触涡流法 Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge 2009-10-30发布 2010-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 6616-—2009 前 言 本标准修改采用了SEMIMF673-1105《用非接触涡流法测定半导体硅片电阻率和薄膜薄层电阻的 方法》。 本标准与SEMIMF673-1105相比主要变化如下: 本标准范围中只包括硅半导体材料,去掉了范围中对于其他半导体晶片的适用对象; 一本标准未采用SEMIMF673-1105中局部范围测量的方法Ⅱ; 未采用SEMI标准中关键词章节以适合GB/T1.1的要求。 本标准代替GB/T6616一1995《半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定非接触涡流法》。 本标准与GB/T6616—1995相比,主要有如下变化: 调整了本标准测量直径或边长范围为大于25mm; 增加了引用标准; 修改了第4章中参考片电阻率的值与表1指定值之偏差为小于土25%; 增加了干扰因素; 修改了第6章中测试环境温度为23℃士1℃; 一规定了测试环境清洁度不低于10000级;仪器预热时间为20min; 第7章中采用了SEMIMF673-1105标准中相关的精度和偏差。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准负责起草单位:万向硅峰电子股份有限公司。 本标准主要起草人:楼春兰、朱兴萍、方强、汪新平、戴文仙。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: GB/T6616—1995。
GB-T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
文档预览
中文文档
8 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2024-06-30 18:39:46
上传分享
举报
下载
原文档
(11.8 MB)
分享
友情链接
T-CIE 070—2020 工业级高可靠集成电路评价 第4部分: 非易失性存储器.pdf
GB-T 25065-2010 信息安全技术 公钥基础设施 签名生成应用程序的安全要求.pdf
ISO SAE 21434 Road vehicles— Cybersecurity engineering.pdf
GB-T 20032-2005 项目风险管理 应用指南.pdf
DB12-T 724.35-2021 安全生产等级评定技术规范 第35部分:医药制造企业 天津市.pdf
T-CADERM 2001—2018 胸痛中心 标准版 建设与评估标准.pdf
DB13-T 5394-2021 冶金企业煤气管网安全管理规范 河北省.pdf
DB33-T 2349-2021 数字化改革 公共数据目录编制规范 浙江省.pdf
GB-T 36968-2018 信息安全技术 IPSec VPN技术规范.pdf
DB3303-T053-2022 公共机构节能管理规范 温州市.pdf
DB5223-T 28-2021 新市民残疾人大学生教育资助基本公共服务规范 黔西南布依族苗族自治州.pdf
T-CIE 115—2021 电子元器件失效机理、模式及影响分析 FMMEA 通用方法和程序.pdf
GB-T 24554-2022 燃料电池发动机性能试验方法.pdf
GB-T 5375-2006 摩托车和轻便摩托车型号编制方法.pdf
DB34-T 1692-2016 能源计量示范单位评价要求 安徽省.pdf
SN-T 1417-2004 国境口岸除鼠规程.pdf
企业安全运营实践研究报告 freebuf 2021版.pdf
GB-T 42578-2023 北斗剖分时间码.pdf
T-ZZB 2928—2022 锥形磨浆机.pdf
GB-T 35264-2017 太阳能草坪灯系统 技术规范.pdf
交流群
-->
1
/
3
8
评价文档
赞助2元 点击下载(11.8 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。