说明:最全专利文库
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS 29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 GB/T6616—-2009 代替GB/T6616--1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测试方法 非接触涡流法 Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge 2009-10-30发布 2010-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 6616-—2009 前 言 本标准修改采用了SEMIMF673-1105《用非接触涡流法测定半导体硅片电阻率和薄膜薄层电阻的 方法》。 本标准与SEMIMF673-1105相比主要变化如下: 本标准范围中只包括硅半导体材料,去掉了范围中对于其他半导体晶片的适用对象; 一本标准未采用SEMIMF673-1105中局部范围测量的方法Ⅱ; 未采用SEMI标准中关键词章节以适合GB/T1.1的要求。 本标准代替GB/T6616一1995《半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定非接触涡流法》。 本标准与GB/T6616—1995相比,主要有如下变化: 调整了本标准测量直径或边长范围为大于25mm; 增加了引用标准; 修改了第4章中参考片电阻率的值与表1指定值之偏差为小于土25%; 增加了干扰因素; 修改了第6章中测试环境温度为23℃士1℃; 一规定了测试环境清洁度不低于10000级;仪器预热时间为20min; 第7章中采用了SEMIMF673-1105标准中相关的精度和偏差。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准负责起草单位:万向硅峰电子股份有限公司。 本标准主要起草人:楼春兰、朱兴萍、方强、汪新平、戴文仙。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: GB/T6616—1995。
GB-T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
文档预览
中文文档
8 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2024-06-30 18:39:46
上传分享
举报
下载
原文档
(11.8 MB)
分享
友情链接
GB-T 28517-2012 网络安全事件描述和交换格式.pdf
专利 一种用于堡垒机的数据库高危指令审核方法和系统.PDF
NY-T 848-2004 蔬菜产地环境技术条件.pdf
GB-T 34608-2017 节水型企业 铁矿采选行业.pdf
DB52-T 1041-2015 贵州省红粘土和高液限土路基设计与施工技术规范 贵州省.pdf
GB-T 18772-2017 生活垃圾卫生填埋场环境监测技术要求.pdf
GB-T 42559-2023 声学 干涉型光纤水听器相移灵敏度测量.pdf
GB-T 16597-2019 冶金产品分析方法 X射线荧光光谱法通则.pdf
GM-T 0027-2014 智能密码钥匙技术规范.pdf
GB-T 25000.12-2017 系统与软件工程 系统与软件质量要求和评价(SQuaRE) 第12部分:数据质量模型.pdf
GB-T 6490-2021 水轮泵.pdf
GB-T 33658-2017 室内人体热舒适环境要求与评价方法.pdf
YD-T 4177.3-2022 移动互联网应用程序(APP)收集使用个人信息最小必要评估规范 第3部分:图片信息.pdf
GB-T 20319-2017 风力发电机组 验收规范.pdf
GB-T 38672-2020 信息技术 大数据 接口基本要求.pdf
GB-T 39570-2020 电子商务交易产品图像展示要求.pdf
“数盾”体系技术架构研究-20221119 - V2.4.2.2.pdf
T-GBMA 001—2019 陶瓷大板施工技术规程.pdf
认证机构管理办法.pdf
DB32-T 4529-2023 医疗机构病媒生物防制技术操作规程 江苏省.pdf
交流群
-->
1
/
3
8
评价文档
赞助2元 点击下载(11.8 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。