GB-T 43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法

ICS17.040. 30 GB CCS J 42 中华人民共和国国家标准 GB/T43915—2024 纳米几何量标准样板测试方法 Testing method for nano geometric standard samples 2024-04-25发布 2024-11-01 实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T43915—2024 目次前言 II 1 范围 2 规范性引用文件术语和定义测试方法分类及原理 4 4.1 纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理 4.2 纳米线宽标准样板测试方法分类及原理 4.3 纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理 4.4 5测试设备 5 5.1 设备选择 5.2 设备要求 5 测试环境 6 6 测试程序 7 6 7.1 外观 7.2 纳米线间隔标准样板测试 7.3 纳米线宽标准样板测试 7.4 纳米台阶高度标准样板测试纳米膜厚标准样板测试 7.5 8测试数据处理 8.1 纳米线间隔标准样板测试数据处理 8.2 纳米线宽标准样板测试数据处理 8.3 纳米台阶高度标准样板测试数据处理 8.43 纳米膜厚标准样板测试数据处理附录A（资料性）标准样板测试记录参考文献 10

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本文档由人生无常于 2024-10-13 12:15:31上传分享