ICS 27.010 SJ CCS L97 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T114512022 代替SJ/T11451—2013 扩散炉能源消耗规范 Specification for energy consumption of diffusion furnace 2022-10-20发布 2023-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T 11451-2022 自次前言 III 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4: 能源消耗指标计算 5 能源消耗等级指标 6 可比单耗计算方法 6.1可比单耗 6.2°实耗电能量 6.3 合格产 7 能源消附录A 料性 SJ 扩散 N D

SJ-T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范

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