ICS31.030 SJ CCSL90 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11863—2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范 Specification for ultra large size mask substrate case 2022-10-20发布 2023-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11863—2022 前言范围 1 规范性引用文件 3术语和定义要求 4 SJ/T11863—2022 前言本标准按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本文件主要起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院、深圳清溢光电股份有限公司。本文件主要起草人：王香、曹可慰万承华、管琪张莹、冯亚斌、张理、付雪涛。 AND RDS D

SJ-T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范

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本文档由人生无常于 2024-10-27 16:29:02上传分享

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