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ICS 29.045 SJ CCS H83 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 11864—2022 半绝缘型碳化硅单晶衬底 Semi-insulating silicon carbide single crystal substrate 2022-10-20发布 2023-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T118642022 前 本文件按照GB/T1.1--2020《标准化工作导则·第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国电子技术标准化研究院归口。 本文件起草单位:山东天岳先进科技股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集 团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、苏州能讯高能半导体有限公司、中国电 子科技集团公司第四十六研究所、江苏 杨世兴、房玉龙、李赞、任勉、 王英民、李国平。 TION SJ OF TRY S D
SJ-T 11864-2022 半绝缘型碳化硅单晶衬底
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