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ICS27.010 SJ CCSL97 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11883—2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的 计算方法 Calculation method of thermal equilibrium, thermal efficiency and comprehensiveenergy consumptionfordiffusionfurnace 2022-10-20发布 2023-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ SJ/T11883—2022 目 次 前言 2规范性引用文件 3 术语和定义 热平衡测试与计算基准 4.1 物料平衡和热平衡计算单位 4.2 基准温度. 4.3 热平衡测试范围 4.4 热平衡测试工况和测试频次 5测定项目及测定方法 5.1 测定前的准备 5.2 热平衡方框图 5.3测定时间 5.4 测定项目 物料平衡计算方法 6.1 物料平衡图, 6.2收入项.. 6.3支出项.. 6.4 物料平衡表, 7热平衡计算方法。 7.1热输入 7.2热输出 7.3热平衡表 热效率计算方法 综合能耗计算方法 SJ/T11883—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由工业和信息化部节能与综合利用司提出。 本文件由中国电子技术标准化研究院归口。 本文件起草单位:中国电子技术标准化研允院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证 中国科学院电工研究所。 本文件主要起草人 麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、 杨立娜。 SJ S RDS D

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SJ-T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 第 1 页 SJ-T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 第 2 页 SJ-T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 第 3 页
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