说明:最全专利文库
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
书 书 书犐犆犛 29 . 045 犎 80 中华人民共和国国家标准 犌犅 / 犜 6618 — 2009 代替 GB / T6618 — 1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狋犺犻犮犽狀犲狊狊犪狀犱狋狅狋犪犾狋犺犻犮犽狀犲狊狊狏犪狉犻犪狋犻狅狀狅犳狊犻犾犻犮狅狀狊犾犻犮犲狊 2009 10 30 发布 2010 06 01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 书 书 书前 言 本标准代替 GB / T6618 — 1995 《 硅片厚度和总厚度变化测试方法 》。 本标准与 GB / T6618 — 1995 相比 , 主要有如下变化 : ——— 将适用范围扩展到外延片 ; ——— 增加了第 4 章干扰因素 ; ——— 增加了 150mm 和 200mm 两种规格的基准环的尺寸 ; ——— 增加了 7.2 仪器校正的内容 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口 。 本标准起草单位 : 北京有研半导体材料股份有限公司 。 本标准主要起草人 : 卢立延 、 孙燕 、 杜娟 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 : ——— GB6618 — 1986 、 GB / T6618 — 1995 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 6618 — 2009
GB-T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法
文档预览
中文文档
12 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共12页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2025-02-21 14:29:15
上传分享
举报
下载
原文档
(871.7 KB)
分享
友情链接
民航 MH-T 6016-2017 航空食品车.pdf
JR-T0073-2012 金融行业信息安全等级保护测评服务安全指引.pdf
商用密码应用安全性评估报告模板-中国密码学会密评联委会-202112.pdf
互联网用户公众账号信息服务管理规定.pdf
天空卫生 数据防泄露 DLP 技术指南完整电子版.pdf
GB-T 19670-2023 机械安全 防止意外启动.pdf
DB41-T 2282-2022 独山玉鉴定与原料分级 河南省.pdf
DB37-T 3234-2018 动物源食品中泰万菌素残留量的测定 液相色谱—串联质谱法 山东省.pdf
GB 42295-2022 电动自行车电气安全要求.pdf
GB-T 22372-2008 单色黑白激光打印机测试版.pdf
GB-T 42777-2023 基于文本数据的金融风险防控 知识图谱构建技术框架指南.pdf
CISP 注册信息安全专业人员培训教材 2019.pdf
SL-T 801-2020 水利一张图空间信息服务规范.pdf
GB-T 4023-2015 半导体器件 分立器件和集成电路 第2部分:整流二极管.pdf
DL-T 5807-2020 水电工程岩体稳定性微震监测技术规范.pdf
DB3308-T 026-2015 衢州市河道生态治理导则 衢州市.pdf
GB-T 9491-2021 锡焊用助焊剂.pdf
T-FSRS 1.1—2019 抚松人参”栽培技术规程 第1部分:福星1号.pdf
GB-T 24181-2022 金刚石焊接锯片基体用钢.pdf
拉萨市行政调解规定.pdf
交流群
-->
1
/
3
12
评价文档
赞助2元 点击下载(871.7 KB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。