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ICS 29.045 YS CCS H83 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1653—2023 氮化镓衬底片 Gallium nitride substrates 2023-12-20发布 2024-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T1653—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243) 与全国半导体设备和材料标准化技术委员 会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本文件起草单位:东莞市中镓半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、苏州纳维科技有限公 司、南京大学、特半导体科技(铜陵)有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。 本文件主要起草人:颜建锋、陈润、王帅、殷淑仪、刘南柳、丁晓民、王建峰、修向前、罗晓菊、徐科、 张国义、李素青。
YS-T 1653-2023 氮化镓衬底片
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